日本愛發(fā)科干泵PDR-090CLN真空泵維修

日本愛發(fā)科干泵PDR-090CLN真空泵維修

愛發(fā)科PDR-090CLN干式多段式羅茨真空泵，用于分析儀器以及半導(dǎo)體生產(chǎn)和等離子清洗等潔凈制程。此泵具有較高的耐腐蝕性能，高真度運行，由于具有優(yōu)異的抗靜態(tài)和動態(tài)內(nèi)應(yīng)力能力，所以泵能提供更強的安全性。
 

真空泵不良現(xiàn)象及原因分析

1、不良現(xiàn)象：真空泵運行過載報警。

2、原因分析：

經(jīng)對真空泵進行拆解， 發(fā)現(xiàn)以下幾個問題點：

不良現(xiàn)象 原因分析

（1）轉(zhuǎn)子軸套部磨損：

因軸承磨損導(dǎo)致轉(zhuǎn)子下限，軸套部位與端蓋中間孔接觸磨擦所致。

（2）泵內(nèi)齒輪箱內(nèi)積碳：

因泵軸承損壞，轉(zhuǎn)子軸套與端蓋中間磨擦導(dǎo)致高溫，齒輪潤滑油因高溫氧化積碳。

（3）軸承磨損：

因軸承潤滑脂失效，軸承干性旋轉(zhuǎn)導(dǎo)致軸承滾珠在軸承內(nèi)干磨。

（4）軸封磨損:

因軸承干磨磨出金屬粉屑以及高溫將軸封磨損。

（5）軸套磨損:

因高溫運行，軸封密封部硬化，與軸套接觸部位剛性磨擦將其軸套磨損。

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